Анотація

Монографія присвячена результатам електронно-мікроскопічних досліджень структури плівок та закономірностям її формування при дискретному осадженні на підкладку пароплазмових потоків, сформованих імпульсним лазерним розпилюванням металевих і напівпровідникових мішеней. Також наведені результати досліджень структурних і фазових перетворень в плівках під час відпалу та природного старіння.

Видання призначено для студентів, аспірантів і викладачів фізико-технічних і матеріало-знавчих спеціальностей.