Тонкоплівкові силіциди. Фактор нанорозмірності

Сидоренко, С. І. Тонкоплівкові силіциди. Фактор нанорозмірності / С. І. Сидоренко, Ю. М. Макогон, О. П. Павлова ; "Київський політехн. ін-т", нац. техн. ун-т України. — 2-ге вид. — Київ : Наук. думка, 2011. — 389 с.