Магнетронные распылительные системы

​Кузьмичев, А. И. Магнетронные распылительные системы / А. И. Кузьмичев. Кн. 1 : Введение в физику и технику магнетронного распыления / дар. А. И. Кузьмичев. — Киев : Аверс, 2008. — 244 с.