Головна сторінка бібліотеки Спрощенний режим пошуку Інструкція з пошуку
Авторизація
Прізвище
Пароль
 

Бази даних


Книжкові видання- результати пошуку

Вид пошуку

Зона пошуку
у знайденому
 Знайдено у інших БД:Періодичні видання (8)
Формат представлення знайдених документів:
повнийінформаційнийкороткий
Відсортувати знайдені документи за:
авторомназвоюроком виданнятипом документа
Пошуковий запит: (<.>K=электронно-лучевые установки<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 3
Показані документи с 1 по 3
1.
   621.385-181
   Э 45


   
    Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] = Electron-Beam Technology in Microelectronic Fabrication / ред. Дж. Р. Брюэр ; пер. с англ., ред. Ф. П. Пресс. - Москва : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. - 1.90 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
литография -- электронно-лучевые процессы -- электронно-лучевые установки -- микроэлектронные приборы -- электронно-лучевая литография -- метод репродуцирования
Дод.точки доступу:
Брюэр, Дж. Р. \ред.\
Пресс, Ф. П. \пер. с англ., ред.\

Примірників усього: 2
аб.4 (1), аб.1 (1)
Вільні: аб.4 (1), аб.1 (1)

Знайти схожі

2.
   062
   М 82


Московский энергетический институт.

    Труды МЭИ [Текст] : сб. науч. тр. / МЭИ.
   № 160 : Энергосберегающие электротермические процессы и оборудование / гл. ред. М. М. Соколов. - Москва : МЭИ, 1988. - 94 с. : ил. - ISSN 0234-9124. - 0.95 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
РЕЗОНАНСНЫЕ ИНВЕРТОРЫ -- ТРАНСФОРМАТОРЫ -- ЭЛЕКТРОПЕЧИ -- ИНДУКЦИОННЫЕ ПЕЧИ -- ПЛАВКА МЕТАЛЛОВ -- ЭЛЕКТРОТЕРМИЧЕСКИЕ УСТАНОВКИ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ УСТАНОВКИ -- КРИСТАЛЛИЗАТОРЫ
Дод.точки доступу:
Соколов, М. М. \гл. ред.\
Московский энергетический институт

Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)

Знайти схожі

3.
   621.385-181
   П 58


    Попов, Виктор Кузьмич.
    Электронная литография [Текст] : аналитический обзор по данным отечественной и зарубежной лит. за 1977-1980 гг. / В. К. Попов, М. С. Виноградова ; науч. ред. П. В. Невский. - Москва : Электроника, 1981. - 55 с. : ил. - (Обзоры по электронной технике. Электроника СВЧ ; вып. 11(829)). - 0.63 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
литография электронная -- электронно-лучевые установки -- зондовые электронно-оптические системы -- уширение электронных пучков -- проекционные системы электронной литографии
Дод.точки доступу:
Виноградова, Мария Сергеевна
Невский, П. В. \науч. ред.\

Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)

Знайти схожі

 

Наша адреса: 61000, Харків, вул. Кирпичова, 2
Науково-технічна бібліотека НТУ "ХПІ"
Контактний телефон: (057) 707-63-07
E-mail: library@khpi.edu.ua