Головна сторінка бібліотеки Спрощенний режим пошуку Інструкція з пошуку
Авторизація
Прізвище
Пароль
 

Бази даних


Книжкові видання- результати пошуку

Вид пошуку

Зона пошуку
у знайденому
 Знайдено у інших БД:Періодичні видання (2)
Формат представлення знайдених документів:
повнийінформаційнийкороткий
Відсортувати знайдені документи за:
авторомназвоюроком виданнятипом документа
Пошуковий запит: (<.>K=электронно-лучевая литография<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 2
Показані документи с 1 по 2
1.
   621.385-181
   Э 45


   
    Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] = Electron-Beam Technology in Microelectronic Fabrication / ред. Дж. Р. Брюэр ; пер. с англ., ред. Ф. П. Пресс. - Москва : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. - 1.90 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
литография -- электронно-лучевые процессы -- электронно-лучевые установки -- микроэлектронные приборы -- электронно-лучевая литография -- метод репродуцирования
Дод.точки доступу:
Брюэр, Дж. Р. \ред.\
Пресс, Ф. П. \пер. с англ., ред.\

Примірників усього: 2
аб.4 (1), аб.1 (1)
Вільні: аб.4 (1), аб.1 (1)

Знайти схожі

2.
   621.396.6
   Т 22


    Таруи, Ясуо.
    Основы технологии сверхбольших интегральных схем [Текст] / Я. Таруи ; пер. с яп. В. А. Лазарев ; ред. В. Г. Ржанов. - Москва : Радио и связь, 1985. - 479 с. : ил., табл. - 2.70 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- МЕТОДЫ ПЕРЕНОСА РИСУНКА -- КОНТРОЛЬ ШАБЛОНОВ -- ВЫРАЩИВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ -- ИЗГОТОВЛЕНИЕ СБИС
Дод.точки доступу:
Лазарев, В. А. \пер. с яп.\
Ржанов, В. Г. \ред.\

Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)

Знайти схожі

 

Наша адреса: 61000, Харків, вул. Кирпичова, 2
Науково-технічна бібліотека НТУ "ХПІ"
Контактний телефон: (057) 707-63-07
E-mail: library@khpi.edu.ua