Головна сторінка бібліотеки Спрощенний режим пошуку Інструкція з пошуку
Авторизація
Прізвище
Пароль
 

Бази даних


Книжкові видання- результати пошуку

Вид пошуку

Зона пошуку
у знайденому
 Знайдено у інших БД:Періодичні видання (24)Рідкісні та цінні видання (33)
Формат представлення знайдених документів:
повнийінформаційнийкороткий
Відсортувати знайдені документи за:
авторомназвоюроком виданнятипом документа
Пошуковий запит: (<.>K=литография<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 34
Показані документи с 1 по 20
 1-10    11-20   21-30   31-34 
1.
   621.382.049.77
   Г 74


    Готра, Зенон Юрьевич.
    Технология микроэлектронных устройств [Текст] : справочник / З. Ю. Готра. - Москва : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил. - ISBN 5-256-00699-1 : 4.00 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
микроэлектронные устройства -- полупроводниковые материалы -- диффузия в полупроводниках -- резка монокристаллов -- фотошаблоны -- ионная имплантация -- литография -- микросварка -- импульсное нанесение пленок
Примірників усього: 4
чз.2 (1), аб.1 (2), ИБО (1)
Вільні: чз.2 (1), аб.1 (2), ИБО (1)

Знайти схожі

2.
   621.385
   М 80


   Моро, Уэйн

    Микролитография. Принципы, методы, материалы [Текст] : в 2 ч. / У. Моро ; авт. предисл. К. А. Валиев.
   Ч. 1 / ред. пер. Р. Х. Тимеров ; авт. предисл. К. А. Валиев. - Москва : Мир, 1990. - 605 с. : ил. - ISBN 5-03-001716-X : 4.50 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
ЛИТОГРАФИЯ -- КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ОПТИКА -- РАДИАЦИОННОЕ ЭКСПОНИРОВАНИЕ -- РЕНТГЕНОВСКОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ -- ИОННЫЕ ПУЧКИ
Дод.точки доступу:
Валиев, К. А. \авт. предисл.\
Тимеров, Р. Х. \ред. пер.\
Валиев, К. А. \авт. предисл.\

Примірників усього: 2
чз.2 (1), аб.1 (1)
Вільні: чз.2 (1), аб.1 (1)

Знайти схожі

3.
   621.385
   М 80


   Моро, Уэйн

    Микролитография. Принципы, методы, материалы [Текст] : в 2 ч. / У. Моро ; авт. предисл. К. А. Валиев.
   Ч. 2 / пер.: Д. Ю. Зарослов, К. Я. Мокроусов, В. А. Никитаев ; ред. пер. Р. Х. Тимеров. - Москва : Мир, 1990. - 632 с. : ил. - ISBN 5-03-001717-8 : 5.00 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
ЭЛЕКТРОНИКА -- ЛИТОГРАФИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПРОЯВЛЕНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЙ В РЕЗИСТЕ -- ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИИ -- ТРАВЛЕНИЕ АЛЮМИНИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ КРЕМНИЯ -- СЕЛЕКТИВНОСТЬ
Дод.точки доступу:
Валиев, К. А. \авт. предисл.\
Зарослов, Д. Ю. \пер. c англ.\
Мокроусов, К. Я. \пер. с англ.\
Никитаев, В. А. \пер. с англ.\
Тимеров, Р. Х. \ред. пер.\
Валиев, К. А. \авт. предисл.\

Примірників усього: 3
аб.1 (1), аб.3 (1), чз.2 (1)
Вільні: аб.1 (1), аб.3 (1), чз.2 (1)

Знайти схожі

4.
   76
   Л45


   
    Ленинградская станковая литография, 1933-1963: Из истории эксперим. граф. мастерской ЛОСХа [Текст] / Авт. вступ. ст. Н. М.Козырева. - Ленинград : Б. и., 1986. - 146 с. - 1,2 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
литография станковая
Вільних прим. немає

Знайти схожі

5.
621.382
Т 38


    Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст] : учеб. пособие для ПТУ : в 10 кн.
   Кн. 8 : Литографические процессы / В. В. Мартынов. - Москва : Высш. шк., 1990. - 128 с. - ISBN 5-06-001080-5 : 0.20 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
литография -- ФОТОШАБЛОНЫ
Дод.точки доступу:
Базарова, Татьяна Евгеньевна

Примірників усього: 4
аб.3 (1), аб.1 (3)
Вільні: аб.3 (1), аб.1 (3)

Знайти схожі

6.
   621.91
   Р 34


    Резание и инструмент в технологических системах [Текст] / НТУ “ХПИ”.
   Вып. 63. - Харьков : НТУ “ХПИ”, 2002. - 205 с. - 7.17 р.
    Зміст:
Буденный, М. М. Основные направления совершенствования технологической подготовки производства зерноуборочного комбайна “Обрій” / М. М. Буденный. - С .3-8. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: СЕЛЬСКОЕ ХОЗЯЙСТВО, ЗЕРНОУБОРОЧНАЯ ТЕХНИКА, МАШИНОСТРОИТЕЛЬНОЕ ПРОИЗВОДСТВО
Верезуб, Н. В. Технология производства изделий типа “TILE” / Н. В. Верезуб [и др.]. - С .9-21. - Библиогр. в конце ст.
Інші автори: Литвиненко М. В., Чернышев А. А., Сенчишин В. Г.
Кл.слова: ОПТИЧЕСКИЕ ПОЛИМЕРЫ, ПРОЦЕССЫ РЕЗАНИЯ, МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
Внуков, Ю. Н. Влияние фрикционной активности на процесс контактирования инструмента с обрабатываемым материалом и износ / Ю. Н. Внуков, А. И. Грабченко, Л. Г. Дюбнер. - С .22-40. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: СТРУЖКООБРАЗОВАНИЕ, ТЕПЛОПРОВОДНОСТЬ, ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Грабченко, Анатолий Иванович. Генезис моделирования абразивно-алмазных инструментов / А. И. Грабченко, В. Л. Доброскок. - С .41-61. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: РЕЖУЩИЕ ИНСТРУМЕНТЫ, ФОРМООБРАЗОВАНИЕ, ПРОЦЕССЫ ШЛИФОВАНИЯ
Дрожжин, В. И. Уточненное определение интенсивности адгезионного взаимодействия обрабатываемого и инструментального материалов / В. И. Дрожжин. - С .62-64. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: ПРОЦЕССЫ РЕЗАНИЯ, ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ, ЭЛЕКТРОИЗОЛЯТОРЫ
Залога, В. А. Выбор оптимальной структуры нейросети для решения задач теории резания / В. А. Залога, Д. В. Криворучко, А. А. Мишенин. - С .65-71. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: ПРОЦЕССЫ РЕЗАНИЯ, ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ, ИСКУССТВЕННЫЙ ИНТЕЛЛЕКТ
Зенкин, А. А. Проектирование автоматизированных систем принятия экологически чистых технологических решений / А. А. Зенкин, А. И. Химичева, А. П. Кваша. - С .72-79. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: МАШИНОСТРОЕНИЕ, МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ, ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
Коваленко, В. С. Лазерная микро и нанообработка / В. С. Коваленко. - С .80-84. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: ПРИБОРОСТРОИТЕЛЬНАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ, МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
Козлов, А. А. Реализация устойчивых технологических процессов при механической обработке титановых сплавов / А. А. Козлов, З. Ю. Робакидзе, Ю. В. Вологин. - С .85-87. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: ПРОЦЕССЫ РЕЗАНИЯ, УЛЬТРАЗВУКОВЫЕ КОЛЕБАНИЯ, ЛАЗЕРНАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Kundrak, J. Investigation of surface roughness in turning of hardened and cylindrical pieces / J. Kundrak, V. Bana. - С .88-94. - Bibliography is at the end of the article
Кл.слова: ДИАМЕТР ЦИЛИНДРА, ПОГРЕШНОСТЬ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ МАШИНЫ, КООРДИНАТНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ МАШИНА
Куркчи, Э. У. Комплексная переработка сплавов монокарбида вольфрама, легированного кобальтом / Э. У. Куркчи [и др.]. - С .95-99. - Библиогр. в конце ст.
Інші автори: Якубов Ф. Я., Валиев Э. В., Куркчи У. М.
Кл.слова: ПРОМЫШЛЕННОЕ ПРОИЗВОДСТВО, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ТОК, КИСЛОРОД
Lierath, F. Trockenbearbeitung und minimalmengensschmierung beim wälzfräsen mit pm-hss-werkzeugen / F. Lierath, Knoche H.-J., P. Herzhoff. - С .100-105. - Literature
Кл.слова: ТОЧЕНИЕ ЗАКАЛЕННОЙ СТАЛИ, СИЛА РЕЗАНИЯ, МАШИНОСТРОИТЕЛЬНАЯ КЕРАМИКА
Мамалис, А. Г. Особенности формирования поверхностного слоя высококачественных оптических полимерных изделий / А. Г. Мамалис, А. И. Грабченко, С. Н. Лавриненко. - С .106-109. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: ОПТИЧЕСКИЕ ИЗДЕЛИЯ, МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА, ЛЕЗВИЙНАЯ ОБРАБОТКА
Посвятенко, Е. К. Механіка руйнування стружки при протягуванні поверхонь з припуском, попередньо поділеним технологічними канавками / Е. К. Посвятенко, Ю. Б. Паладійчук. - С .110-120. - Бібліогр. в кінці ст.
Кл.слова: ПРОЦЕСИ РІЗАННЯ, МАКРОРЕЛЬЄФ, КОНТАКТНІ НАПРУЖЕННЯ
Проволоцкий, А. Е. Аналитические исследования прочности волокна полимер - абразивного инструмента / А. Е. Проволоцкий, И. А. Колесник, С. Л. Негруб. - С .121-125. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: АБРАЗИВНЫЕ ЗЕРНА, ШЛИФОВАЛЬНЫЕ КРУГИ, СОПРОТИВЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ
Равская, Н. С. Влияние стохастического характера обработки деталей на выбор инструмента для тяжелых станков / Н. С. Равская, Г. П. Клименко. - С .126-129. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: РЕЖИМЫ РЕЗАНИЯ, ТЯЖЕЛОЕ МАШИНОСТРОЕНИЕ, РЕЗАНИЕ МЕТАЛЛОВ
Романов, В. Ф. Режущие инструменты для оснащения современного автомобильного производства / В. Ф. Романов. - С .136-138
Кл.слова: МЕТАЛЛООБРАБОТКА, ТВЕРДЫЕ СПЛАВЫ, ЗАКАЛЕННАЯ СТАЛЬ
Романов, В. Ф. Специальные инструменты из поликриcталлических материалов (PCD), кубического нитрида бора (PCBN) и керамики для высокоскоростного резания деталей из черных и цветных металлов / В. Ф. Романов. - С .139-144
Кл.слова: СКОРОСТЬ РЕЗАНИЯ, ДЕТАЛИ МАШИН, МОНОКРИСТАЛЛЫ
Сирадзе, А. М. Регулирование микродоводочных процессов обработки связанным абразивом / А. М. Сирадзе. - С .145-149. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: ПОДШИПНИКИ КАЧЕНИЯ, ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ, МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Степанов, Михаил Сергеевич. Технологическая эффективность гидроочистки круга при шлифовании / М. С. Степанов, Е. Г. Калиба. - С .150-156. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: АБРАЗИВНЫЕ КРУГИ, ТРУБОПРОВОДЫ, ГИДРАВЛИЧЕСКАЯ ОЧИСТКА
Тарасюк, А. П. Пути улучшения качества характеристик поверхностного слоя при резании волокнистых полимерных композитов / А. П. Тарасюк. - С .157-162
Кл.слова: КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ, ПРОЦЕССЫ РЕЗАНИЯ, МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
Twardowski, P. Application of Asynhronous Linear Motor in Control of Surface Profile Deviation During Turning of Hardened Steel / P. Twardowski, M. Kawalec, A. Hamrol. - С .163-166. - Bibliography is at the end of the article
Кл.слова: СЕЛЕКТИВНОЕ ЛАЗЕРНОЕ СПЕКАНИЕ, АНАЛИЗ МЕТОДОМ КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ, ПОСЛОЙНОЕ НАПЛАВЛЕНИЕ
Турманидзе, Н. С. Влияние механических свойств твердого сплава и угла наклона винтовой канавки ω на износостойкость мелкоразмерных спиральных сверл при обработке печатных плат / Н. С. Турманидзе, Н. С. Амиридзе, В. С. Жилис. - С .167-173. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: ТВЕРДЫЕ СПЛАВЫ, СТРУЖКООБРАЗОВАНИЕ, ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Узунян, Матвей Данилович. Особенности формирования остаточных напряжений при алмазно-искровом шлифовании безвольфрамовых твердых сплавов и их взаимосвязь с износостойкостью инструментов / М. Д. Узунян. - С .174-179. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: ТВЕРДОСПЛАВНЫЕ ИНСТРУМЕНТЫ, МИКРОДЕФОРМАЦИЯ, СОЛЯНАЯ КИСЛОТА
Фадеев, Валерий Андреевич. Проблемы эффективности механической обработки деталей авиационной техники на финишных операциях / В. А. Фадеев. - С .180-183. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ, МАШИНОСТРОЕНИЕ, АБРАЗИВНЫЕ ИНСТРУМЕНТЫ
Федорович, Владимир Алексеевич. Обоснование возможности термоактивируемой доводки лезвийных инструментов из сверхтвердых материалов на основе алмаза / В. А. Федорович, Е. В. Островерх, Н. В. Козакова. - С .184-190. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова: ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ, ЛЕЗВИЙНЫЕ ИНСТРУМЕНТЫ, МИКРОТРЕЩИНЫ
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
режущий инструмент
Дод.точки доступу:
Сенчишин, В. Г.
Куркчи, У. М.
Национальный технический университет “Харьковский политехнический институт”

Примірників усього: 2
аб.1 (2)
Вільні: аб.1 (2)

Знайти схожі

7.
   621.385
   П 37


   
    Плазменная технология в производстве СБИС [Текст] = VLSI Electronics Microstructure Science : монография / ред.: Н. Айнспрук, Д. Браун ; пер. с англ.: Ю. М. Золотарев, В. В. Юдин ; ред. пер. Е. С. Машкова. - Москва : Мир, 1987. - 472 с. : ил. - 3.40 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
плазменная обработка -- реактивное ионное травление -- ионно-лучевое травление -- ионно-плазменные методы -- литография
Дод.точки доступу:
Айнспрук, Норман \ред.\
Браун, Д. \ред.\
Золотарев, Ю. М. \пер. с англ.\
Юдин, В. В. \пер. с англ.\
Машкова, Е. С. \ред. пер.\

Примірників усього: 7
аб.2 (1), аб.1 (3), аб.4 (2), аб.3 (1)
Вільні: аб.2 (1), аб.1 (3), аб.4 (2), аб.3 (1)

Знайти схожі

8.
   621.386.8
   В 15


    Валиев, Камиль Ахметович.
    Физика субмикронной литографии [Текст] / К. А. Валиев. - Москва : Наука, 1990. - 528 с. : ил. - ISBN 5-02-014381-2 : 7.50 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
литография электронно-лучевая -- физика ионно-лучевой литографии -- физика рентгеновской субмикронной фотолитографии литографии -- оптическая литография -- микроэлектроника
Примірників усього: 8
аб.4 (6), аб.1 (2)
Вільні: аб.4 (6), аб.1 (2)

Знайти схожі

9.
   533.9
   Ф50


    Физические основы лазерной и пучковой технологии [Текст] / ВИНИТИ АН СССР; гл. ред.: П. В. Нестеров, Б. Б. Кадомцев.
   Т. 3 : Физические основы лазерной микротехнологии / ред.: Н. И. Коротеев, В. Я. Панченко. - Москва : ВИНИТИ, 1989. - 164 с. : рис., табл. - (Итоги науки и техники). - ISSN 0235-229X. - 1.50 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
интегральные схемы микроэлектроники -- фотолитография -- травление полимеров лазерным излучением -- осаждение металлов лазерным излучением -- лазерная литография -- лазеры -- дифракция света
Дод.точки доступу:
Нестеров, П. В. \гл. ред.\
Кадомцев, Б. Б. \гл. ред.\
Коротеев, Н. И. \ред.\
Панченко, В. Я. \ред.\
АН СССР. Всесоюзный институт научной и технической информации

Примірників усього: 3
аб.4 (2), аб.1 (1)
Вільні: аб.4 (2), аб.1 (1)

Знайти схожі

10.
   621.385
   П 58


    Попов, Владимир Федорович.
    Процессы и установки электронно-ионной технологии [Текст] : учебное пособие / В. Ф. Попов, Ю. Н. Горин. - Москва : Высш. шк., 1988. - 255 с. : рис., табл. - ISBN 5-06-001480-0 : 1.00 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ТЕРМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНОЛОГИИ -- МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ МАТЕРИАЛОВ
Дод.точки доступу:
Горин, Юрий Николаевич

Примірників усього: 13
аб.1 (2), аб.3 (11)
Вільні: аб.1 (2), аб.3 (11)

Знайти схожі

11.
   621.385
   Т 40


    Тилл, Уильям.
    Интегральные схемы. Материалы. Приборы. Изготовление [Текст] = Integreted Circuits. Materials. Devices and Fabrication / У. Тилл, Дж. Лаксон ; пер.: М. Б. Левин, В. Г. Микуцкий ; ред. М. В. Гальперин. - Москва : Мир, 1985. - 501 с. : ил. - 2.40 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
технология интегральных схем -- свойства кристаллов -- твердые растворы -- биполярные транзисторы -- полевые транзисторы -- литография -- цифровые логические элементы
Дод.точки доступу:
Лаксон, Джеймс
Левин, М. Б. \пер.\
Микуцкий, В. Г. \пер.\
Гальперин, М. В. \ред.\

Примірників усього: 3
аб.4 (2), аб.1 (1)
Вільні: аб.4 (2), аб.1 (1)

Знайти схожі

12.
   621.385-181
   Э 45


   
    Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] = Electron-Beam Technology in Microelectronic Fabrication / ред. Дж. Р. Брюэр ; пер. с англ., ред. Ф. П. Пресс. - Москва : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. - 1.90 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
литография -- электронно-лучевые процессы -- электронно-лучевые установки -- микроэлектронные приборы -- электронно-лучевая литография -- метод репродуцирования
Дод.точки доступу:
Брюэр, Дж. Р. \ред.\
Пресс, Ф. П. \пер. с англ., ред.\

Примірників усього: 2
аб.4 (1), аб.1 (1)
Вільні: аб.4 (1), аб.1 (1)

Знайти схожі

13.
   062
   Ф 50


АН СССР. Физический институт им. П. Н. Лебедева.

    Труды Физического института им. П. Н. Лебедева [Текст] / ФИАН.
   Т. 196 : Рентгеновская оптика / отв. ред. А. Н. Ораевский. - Москва : Наука, 1989. - 182 с. : ил. - ISSN 0203-5820. - 3.30 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
РЕНТГЕНОВСКИЕ ИЗЛУЧЕНИЯ -- РАССЕЯНИЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ -- МЕТОД АЛМАЗНОГО ТОЧЕНИЯ -- МНОГОСЛОЙНЫЕ РЕНТГЕНОВСКИЕ ЗЕРКАЛА -- ЛИТОГРАФИЯ РЕНТГЕНОВСКАЯ -- КОНЦЕНТРАТОРЫ
Дод.точки доступу:
Ораевский, А. Н. \отв. ред.\
АН СССР. Физический институт им. П. Н. Лебедева

Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)

Знайти схожі

14.
   621.91
   Р 34


    Козлов, А. А.
    Реализация устойчивых технологических процессов при механической обработке титановых сплавов [Текст] / А. А. Козлов, З. Ю. Робакидзе, Ю. В. Вологин // Резание и инструмент в технологических системах. Вып. 63. - Харьков : НТУ “ХПИ”, 2002. - С. 85-87. - Библиогр. в конце ст.
УДК

Кл.слова (ненормовані):
ПРОЦЕССЫ РЕЗАНИЯ -- УЛЬТРАЗВУКОВЫЕ КОЛЕБАНИЯ -- ЛАЗЕРНАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Дод.точки доступу:
Робакидзе, З. Ю.
Вологин, Ю. В.

Примірників усього: 2
аб.1 (2)
Вільні: аб.1 (2)

Знайти схожі

15.
   621.378.3
   В 26


    Вейко, Вадим Павлович.
    Лазерная литография [Текст] / В. П. Вейко, Б. Н. Котлецов, М. Н. Либенсон ; ЛДНТП. - Ленинград : ЛДНТП, 1971. - 48 с. : ил. - (Прогрессивные методы обработки металлов, сплавов и других материалов)
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
обработка металлов -- лазерная обработка -- принципы построения изображений -- физико-химические процессы лазерной литографии
Дод.точки доступу:
Котлецов, Борис Николаевич
Либенсон, Михаил Наумович
Ленинградский Дом научно-технической пропаганды

Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)

Знайти схожі

16.
   062
   Ф 50


РАН. Физико-технологический институт.

    Труды ФТИАН [Текст] / ФТИАН; гл. ред. К. А. Валиев.
   Т. 3 : Моделирование технологических процессов микроэлектроники / отв. ред. Т. М. Махвиладзе. - Москва : Наука, 1992. - 120 с. : рис. - ISSN 0868-7129. - ISBN 5-02-006867-5 : 48.84 крб
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- РАССЕЯНИЕ ЭЛЕКТРОННЫХ ПУЧКОВ -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПОЛИМЕРНЫЕ РЕЗИСТЫ -- ПОЛИМЕРНЫЕ ПЛЕНКИ -- МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ -- МОЛЕКУЛЯРНО-ПУЧКОВАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ИМПУЛЬСНАЯ ОБРАБОТКА
Дод.точки доступу:
Валиев, К. А. \гл. ред.\
Махвиладзе, Т. М. \отв. ред.\
РАН. Физико-технологический институт

Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)

Знайти схожі

17.
   062
   Ф 50


АН СССР. Институт общей физики.

    Труды института общей физики [Текст] / ИОФАН; гл. ред. А. М. Прохоров.
   Т. 14 : Технологические проблемы микроэлектроники / отв. ред.: Т. М. Махвиладзе, А. В. Раков. - Москва : Наука, 1988. - 172 с. : ил. - ISSN 0233-9390. - ISBN 5-02-000723-4 : 2.60 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
ИМПУЛЬСНАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- МЕТОД МОНТЕ-КАРЛО -- РАДИАЦИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- БИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ -- МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
Дод.точки доступу:
Прохоров, А. М. \гл. ред.\
Махвиладзе, Т. М. \отв. ред.\
Раков, А. В. \отв. ред.\
АН СССР. Институт общей физики

Примірників усього: 2
аб.1 (2)
Вільні: аб.1 (2)

Знайти схожі

18.
   062
   Ф 50


АН СССР. Физико-технологический институт.

    Труды ФТИАН [Текст] / ФТИАН; гл. ред. К. А. Валиев.
   Т. 1 : Проблемы микроэлектроники / отв. ред. В. И. Рыжий. - Москва : Наука, 1991. - 95 с. : рис. - ISSN 0868-7129. - ISBN 5-02-006816-0 : 6.40 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
БИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ -- ФОТОМУЛЬТИПЛИКАТОРЫ ПРОЕКЦИОННЫЕ -- ЭКСИМЕРНЫЕ ЛАЗЕРЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ФОТОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ
Дод.точки доступу:
Валиев, К. А. \гл. ред.\
Рыжий, В. И. \отв. ред.\
АН СССР. Физико-технологический институт

Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)

Знайти схожі

19.
   620.3
   P93


    Proceedings of the 6 th International Conference European Society for Precision Engineering and Nanotechnology [Текст] : may 28 th - June 1st, 2006, Baden Bei Wien, Vienna.
   Vol. 1 / ed. H. Zervos. - Vienna : Euspen, 2006. - 536 с. : fig., table. - Загл. обл. : 6th international conference and 8th annual general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology. - ISBN 978-0-9553082-0-8 : 53.60 грн
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
литография при изучении УФ -- нанооптика -- наноструктура
Есть полнотекстовые версии (доступ потребує авторизації)

Дод.точки доступу:
Zervos, H. \ed.\

Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)

Знайти схожі

20.
   062
   Ф 50


АН СССР. Институт общей физики.

    Труды института общей физики [Текст] / ИОФАН; гл. ред. А. М. Прохоров.
   Т. 8 : Проблемы литографии в микроэлектронике / отв. ред. Т. М. Махвиладзе. - Москва : Наука, 1987. - 150 с. : ил. - 1.90 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ЛАЗЕРНОЕ ЭКСПОНИРОВАНИЕ -- ПОЗИТИВНЫЕ ФОТОРЕЗИСТЫ -- ПОЛИМЕРНЫЕ РЕЗИСТЫ -- РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ -- РЕНТГЕНОПОЛИГРАФИЯ -- ИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ЭФФЕКТ ДЖОЗЕФСОНА
Дод.точки доступу:
Прохоров, А. М. \гл. ред.\
Махвиладзе, Т. М. \отв. ред.\
АН СССР. Институт общей физики

Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)

Знайти схожі

 1-10    11-20   21-30   31-34 
 

Наша адреса: 61000, Харків, вул. Кирпичова, 2
Науково-технічна бібліотека НТУ "ХПІ"
Контактний телефон: (057) 707-63-07
E-mail: library@khpi.edu.ua