|
Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : Назва : Методичні вказівки до виконання лабораторної роботи “Фотолітографія” [Електронний ресурс] : для студентів спец. 161 “Хімічні технології та інженерія” Вихідні дані : Б.м., 2023 Кільк.характеристики :43 с. Колективи : Національний технічний університет “Харківський політехнічний інститут” Форма і об'єм ресурсу: Електрон. текст. дані Ціна : Б.ц. Ключові слова (''Вільн.індекс.''): хімічні технології--сухі плівкові фоторезисти--електрохімічне травлення--світлочутливість--мікроелектроніка Дод.точки доступу: Лещенко, Сергій Анатолійович (кандидат технічних наук) \уклад.\ Лещенко, Сергей Анатольевич (кандидат технических наук) Дерібо, Світлана Германівна (кандидат технічних наук) \уклад.\ Дерибо, Светлана Германовна (кандидат технических наук) Національний технічний університет “Харківський політехнічний інститут” |