Э 45 Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] = Electron-Beam Technology in Microelectronic Fabrication / ред. Дж. Р. Брюэр ; пер. с англ., ред. Ф. П. Пресс. - Москва : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. - 1.90 р.
Кл.слова (ненормовані): литография -- электронно-лучевые процессы -- электронно-лучевые установки -- микроэлектронные приборы -- электронно-лучевая литография -- метод репродуцирования Дод.точки доступу: Брюэр, Дж. Р. \ред.\ Пресс, Ф. П. \пер. с англ., ред.\ Примірників усього: 2 аб.4 (1), аб.1 (1) Вільні: аб.4 (1), аб.1 (1) |