621.385-181
   Э 45


   
    Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] = Electron-Beam Technology in Microelectronic Fabrication / ред. Дж. Р. Брюэр ; пер. с англ., ред. Ф. П. Пресс. - Москва : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. - 1.90 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
литография -- электронно-лучевые процессы -- электронно-лучевые установки -- микроэлектронные приборы -- электронно-лучевая литография -- метод репродуцирования
Дод.точки доступу:
Брюэр, Дж. Р. \ред.\
Пресс, Ф. П. \пер. с англ., ред.\

Примірників усього: 2
аб.4 (1), аб.1 (1)
Вільні: аб.4 (1), аб.1 (1)