Б 43 Белов, Игорь Александрович. Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] / И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб. - Ленинград : Политехника, 1991. - 287 с. : ил. - ISBN 5-7325-0001-4 : 5.00 р.
Кл.слова (ненормовані): гидромеханические процессы -- технология изготовления микросхем -- гидродинамика Дод.точки доступу: Шеленшкевич, Владимир Александрович Шуб, Леонид Иванович Примірників усього: 3 аб.1 (3) Вільні: аб.1 (3) |