621.382.049
   Б 43


    Белов, Игорь Александрович.
    Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] / И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб. - Ленинград : Политехника, 1991. - 287 с. : ил. - ISBN 5-7325-0001-4 : 5.00 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
гидромеханические процессы -- технология изготовления микросхем -- гидродинамика
Дод.точки доступу:
Шеленшкевич, Владимир Александрович
Шуб, Леонид Иванович

Примірників усього: 3
аб.1 (3)
Вільні: аб.1 (3)