П 18 Пархутик, Виталий Петрович. Плазменное анодирование. Физика, техника, применение в микроэлектронике [Текст] / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 280 с. : ил., граф. - ISBN 5-343-00522-5 : 2.80 р.
Кл.слова (ненормовані): КИНЕТИКА ПРОЦЕССА -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ Дод.точки доступу: Лабунов, Владимир Архипович Примірників усього: 1 аб.1 (1) Вільні: аб.1 (1) |