533.9
   П 18


    Пархутик, Виталий Петрович.
    Плазменное анодирование. Физика, техника, применение в микроэлектронике [Текст] / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 280 с. : ил., граф. - ISBN 5-343-00522-5 : 2.80 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
КИНЕТИКА ПРОЦЕССА -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
Дод.точки доступу:
Лабунов, Владимир Архипович

Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)