621.385.3.002
   К 46


    О’Киффе, Т.
    Изготовление планарных кремниевых транзисторов без применения фоторезиста [Текст] : перевод № 25/ЭТ-3242 / Т. О’Киффе, Р. Хэнди ; пер. И. А. Юдина ; ред. В. Б. Пушкин. - Москва : Электроника, 1968. - 22 с. : ил. - (Переводы иностранной литературы. Технология, организация производства). - Пер. вид. : Fabrication of Planar Silicon Transistors without Photoresist / T. O’Keeffe, R. HandySCP and Solid State Technology. - 1968. - Vol. 11, № 2. - P. 261-266. - 0.08 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
ИЗГОТОВЛЕНИЕ ТРАНЗИСТОРОВ -- МЕТОД БОМБАРДИРОВКИ ЭЛЕКТРОНАМИ ВЫСОКОЙ ЭНЕРГИИ -- КРЕМНИЕВЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ
Дод.точки доступу:
Хэнди, Р.
Юдина, И. А. \пер.\
Пушкин, В. Б. \ред.\
O’Keeffe, T.
Handy, R.

Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)