А 43 Активируемые процессы технологии микроэлектроники [Текст] : межвуз. темат. науч. сб. . Вып. 2 / ТРТИ ; отв. ред. Д. А. Сеченов. - Таганрог : ТРТИ, 1976. - 224 с. : рис. - 1.20 р.
Кл.слова (ненормовані): производство интегральных схем -- поликристаллические пленки -- оксидные пленки -- микроэлектроника Дод.точки доступу: Сеченов, Д. А. \отв. ред.\ Таганрогский радиотехнический институт Примірників усього: 2 аб.1 (2) Вільні: аб.1 (2) |