621.385-181
   А 43


   
    Активируемые процессы технологии микроэлектроники [Текст] : межвуз. темат. науч. сб. . Вып. 2 / ТРТИ ; отв. ред. Д. А. Сеченов. - Таганрог : ТРТИ, 1976. - 224 с. : рис. - 1.20 р.
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
производство интегральных схем -- поликристаллические пленки -- оксидные пленки -- микроэлектроника
Дод.точки доступу:
Сеченов, Д. А. \отв. ред.\
Таганрогский радиотехнический институт

Примірників усього: 2
аб.1 (2)
Вільні: аб.1 (2)