621.793.083.4
   Н 62


    Никитин, Михаил Михайлович.
    Технология и оборудование вакуумного напыления [Текст] / М. М. Никитин. - Москва : Металлургия, 1992. - 112 с. : ил. - ISBN 5-229-00788-5 : 65.03 крб
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
вакуумное напыление -- тонкие пленки -- оборудование для напыления
Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)