Н 62 Никитин, Михаил Михайлович. Технология и оборудование вакуумного напыления [Текст] / М. М. Никитин. - Москва : Металлургия, 1992. - 112 с. : ил. - ISBN 5-229-00788-5 : 65.03 крб
Кл.слова (ненормовані): вакуумное напыление -- тонкие пленки -- оборудование для напыления Примірників усього: 1 аб.1 (1) Вільні: аб.1 (1) |