062
   Ф 50


АН СССР. Физико-технологический институт.

    Труды ФТИАН [Текст] / ФТИАН; гл. ред. К. А. Валиев.
   Т. 2 : Микроструктурирование тонких пленок / отв. ред. А. А. Орликовский. - Москва : Наука, 1991. - 112 с. : рис. - ISBN 5-02-006817-9 : 18.79 крб
ДРНТІ
УДК

Кл.слова (ненормовані):
полупроводниковая электроника -- тонкие пленки
Дод.точки доступу:
Валиев, К. А. \гл. ред.\
Орликовский, А. А. \отв. ред.\
АН СССР. Физико-технологический институт

Примірників усього: 1
аб.1 (1)
Вільні: аб.1 (1)