Ф 50 АН СССР. Физико-технологический институт. Труды ФТИАН [Текст] / ФТИАН; гл. ред. К. А. Валиев. Т. 2 : Микроструктурирование тонких пленок / отв. ред. А. А. Орликовский. - Москва : Наука, 1991. - 112 с. : рис. - ISBN 5-02-006817-9 : 18.79 крб
Кл.слова (ненормовані): полупроводниковая электроника -- тонкие пленки Дод.точки доступу: Валиев, К. А. \гл. ред.\ Орликовский, А. А. \отв. ред.\ АН СССР. Физико-технологический институт Примірників усього: 1 аб.1 (1) Вільні: аб.1 (1) |