К 56 Коваль, Лариса Петровна. Релаксация напряжений и формирование дислокационной структуры в эпитаксиальных системах с малым несоответствием [Рукопис] : дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / Л. П. Коваль ; рук. работы М. Я. Фукс ; ХПИ. - Харьков, 1983. - 132 с. : ил. - Библиогр.: с. 121-132 (103 назв.) Зміст: Обзор литературы . - С .8-35 1. Напряжения в эпитаксиальных системах . - С .8-18 2. Механизмы релаксации в эпитаксиальных системах . - С .19-33 3. Заключение к обзору и постановка задачи . - С .34-35 Образцы и методика исследований . - С .36-51 1. Объекты исследований . - С .36 2. Методы наклонных рентгеновских съемок . - С .36-41 3. Метод измерения кривизны макроскопического изгиба эпитаксиальных систем . - С .42 4. Рентгеновская топография . - С .43-51 Остаточные напряжения и дислокационная структура в эпитаксиальных системах с малым несоответствием . - С .52-87 1. Типы дислокационных структур в эпитаксиальных системах с малым несоответствием . - С .53-57 2. О взаимосвязи дислокационной структуры подложки и эпитаксиальной пленки . - С .58-66 3. Неоднородность макродеформаций и дислокационной структуры в эпитаксиальной системе MgxMn1-xFeO4/MgO . - С .67-77 4. Зависимость остаточной деформации и дислокационной структуры в эпитаксиальной системе Ge/GaAs . - С .78-87 Релаксация напряжений несоответствия . - С .88-117 1. Дислокации, параллельные межфазной границе . - С .88-96 2. Зарождение дислокаций несоответствия в отсутствии концентраторов напряжений, введенных диссоциацией GaAs . - С .97-100 3. Кинетика дислокаций и формирование сетки ДН при краевом зарождении . - С .101-103 4. Зарождение и распространение дислокаций при наличии концентраторов напряжений . - С .104-108 5. Изменение структурного совершенства по толщине пленки . - С .109-114 6. Специфика процессов релаксации в эпитаксиальных системах с малым несоответствием Ge . - С .115-117 Выводы . - С .118-120
Кл.слова (ненормовані): ГЕТЕРОПЕРЕХОДЫ -- ДИСЛОКАЦИОННАЯ СТРУКТУРА -- КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ РЕШЕТКИ Дод.точки доступу: Фукс, М. Я. \рук. работы.\ Харьковский политехнический институт Примірників усього: 1 чз.1 (1) Вільні: чз.1 (1) |