И 75 Ионова, Елена Николаевна. Твердофазные реакции и термическая стабильность многослойных структур на основе арсенида галлия [Рукопис] : дис. ... канд. физ.- мат. наук : 01.04.07 / Е. Н. Ионова ; науч. рук. А. И. Федоренко ; ХПИ. - Харьков, 1983. - 200 с. : ил. - Библиогр.: с. 188-200 (127 назв.) Зміст: Введение . - С .5-7 Обзор литературы . - С .8-53 1. Термодинамическое равновесие многофазных систем и пути его достижения . - С .8-27 2. Твердофазные реакции в системах металл-кремний и металл-арсенид галлия . - С .27-35 3. Кремний и германий в аморфном состоянии . - С .35-44 4. Твердооофазная эпитаксия, реакции и массоперенос в слоистых системах типа аморфный кремний-металл - кристаллический кремний . - С .44-53 Экспериментальные методики изготовления и исследования многослойных систем . - С .54-72 1. Методика изготовления тонких пленок металлов и полупроводников . - С .54-57 2. Методика гидрогенизации и легирования аморфного кремния . - С .57-69 3. Методика электрофизических измерений . - С .69-72 Твердофазные реакции металлов с арсенидом галлия . - С .73-128 Диффузионные взаимодействия и электрические свойства в системе Pd/GaAs с барьерным слоем . - С .129-175 1. Системы Pd/Ta[[d]]2[[/d]]O[[d]]5[[/d]]/GaAs и Pd/a-Si/GaAs . - С .131-169 2. Электрические свойства системы Pd/GaAs с промежуточным слоем . - С .169-175 Твердофазная эпитаксия в системе a-Si/Pd/(111) GaAs . - С .176-183 Общие выводы . - С .184-187
Кл.слова (ненормовані): АДСОРБЦИЯ МЕТАЛЛОВ -- ГАЛЛИДЫ ПАЛАДИЯ -- ДИФФУЗИОННОЕ ПРОНИКНОВЕНИЕ -- АМОРФНЫЙ КРЕМНИЙ Дод.точки доступу: Федоренко, Анатолий Иванович (1937) \науч. рук.\ Харьковский политехнический институт Примірників усього: 1 чз.1 (1) Вільні: чз.1 (1) |