Головна сторінка бібліотеки Спрощенний режим пошуку Інструкція з пошуку
Авторизація
Прізвище
Пароль
 

Бази даних


Періодичні видання- результати пошуку

Вид пошуку

Зона пошуку
 Знайдено у інших БД:Книжкові видання (1)
Формат представлення знайдених документів:
повнийінформаційнийкороткий
Пошуковий запит: (<.>K=FABIAN$<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1
1.


   
    Monte Carlo modelling of wet-chemical lithography with masks [Текст] / A. P. Reverberi [и др.] // Теоретические основы химической технологии. - 2013. - Т. 47, № 5. - С. 551-557. - Библиогр.: с. 557 (22 назв. ) . - ISSN 0040-3571
УДК
ББК 22.251

Рубрики: Механика

   Механика твердых тел


Кл.слова (ненормовані):
метод моделирования Монте-Карло -- Монте-Карло метод моделирования -- мокрое химическое травление -- литография -- микромеханические технологии -- поверхность подложки -- твердая подложка -- травление поверхности
Анотація: Предложена перспективная дискретная модель мокрого химического травления поверхности твердой подложки, основанная на методе моделирования Монте-Карло. Эта техника представляет собой эффективную и экономически выгодную альтернативу существующим методам в большинстве областей микромеханических технологий, кроме того незаменима для развития нанотехнологий в данном направлении.
Дод.точки доступу:
Reverberi, А. Р.
Fabiano, B.
Dovi, V. G.
Meshalkin, V. P.

Примірників усього: 1
чз.1 (1)
Вільні: чз.1 (1)

Знайти схожі

 

Наша адреса: 61000, Харків, вул. Кирпичова, 2
Науково-технічна бібліотека НТУ "ХПІ"
Контактний телефон: (057) 707-63-07
E-mail: library@khpi.edu.ua