Library home page Simple search mode Help
Login
Surname
Password
 

Databases


Book publications- результаты поиска

Search mode

Search area
в найденном
 Найдено в других БД:Periodical publications (9)Rare and valuable publications (3)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ФОТОЛИТОГРАФИЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 41
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-20   21-30   31-40   41-41 
1.
   621.385
   М 80


   Моро, Уэйн

    Микролитография. Принципы, методы, материалы [Текстььь] : в 2 ч. / У. Моро ; авт. предисл. К. А. Валиев.
   Ч. 1 / ред. пер. Р. Х. Тимеров ; авт. предисл. К. А. Валиев. - Москва : Мир, 1990. - 605 с. : ил. - ISBN 5-03-001716-X : 4.50 р.
ГРНТИ
УДК

Keywords:
ЛИТОГРАФИЯ -- КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ОПТИКА -- РАДИАЦИОННОЕ ЭКСПОНИРОВАНИЕ -- РЕНТГЕНОВСКОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ -- ИОННЫЕ ПУЧКИ
Доп.точки доступа:
Валиев, К. А. \авт. предисл.\
Тимеров, Р. Х. \ред. пер.\
Валиев, К. А. \авт. предисл.\

Экземпляры всего: 2
чз.2 (1), аб.1 (1)
Свободны: чз.2 (1), аб.1 (1)

Find similar

2.
   621.314.632
   Т 30


    Тейлор, Поль Д..
    Расчет и проектирование тиристоров [Текстььь] / П. Тейлор ; ред. пер. с англ. Ю. А. Евсеев. - Москва : Энергоатомиздат, 1990. - 208 с. : ил. - ISBN 5-283-02495-4 : 0.90 р.
ГРНТИ
УДК

Keywords:
проектирование тиристоров -- производство мощных тиристоров -- фотолитография -- охлаждение тиристоров
Доп.точки доступа:
Евсеев, Ю. А. \ред. пер. с англ.\

Экземпляры всего: 8
каф. пром. электр. (1), аб.1 (1), аб.3 (5), Рез.фонд (1)
Свободны: каф. пром. электр. (1), аб.1 (1), аб.3 (5), Рез.фонд (1)

Find similar

3.
   621.315
   Б 69


    Блинов, Игорь Григорьевич.
    Оборудование полупроводникового производства [Текстььь] : учеб. пособие / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - Москва : Машиностроение, 1986. - 264 с. : ил. - (Для вузов). - 1.00 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электронная промышленность--Оборудование--Учебники и пособия

   Полупроводниковые приборы-- Производство --Учебники и пособия


Keywords:
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ГАЗОВАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
Доп.точки доступа:
Кожитов, Лев Васильевич

Экземпляры всего: 3
аб.3 (1), аб.1 (2)
Свободны: аб.3 (1), аб.1 (2)

Find similar

4.
   621.396.6
   Б 48


    Березин, Андрей Сергеевич.
    Технология и конструирование интегральных микросхем [Текстььь] : учеб. пособие / А. С. Березин, О. Р. Мочалкина ; ред. И. П. Степаненко. - Москва : Радио и связь, 1983. - 232 с. : ил., табл. - 0.80 р.
ГРНТИ
УДК

Keywords:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ПОЛУЧЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ГИБРИДНЫЕ МИКРОСХЕМЫ
Доп.точки доступа:
Мочалкина, Ольга Романовна
Степаненко, И. П. \ред.\

Экземпляры всего: 64
аб.3 (63), аб.1 (1)
Свободны: аб.3 (63), аб.1 (1)

Find similar

5.
   621.385.1
   Ф 81


   
    Фотолитография и оптика [Текстььь] = Fotolitografie und Optik / ред.: Я. А. Федотов, Г. Поль. - Москва : Сов. радио ; Берлин : Техника, 1974. - 392 с. : ил. - 1.57 р.
ГРНТИ
УДК

Keywords:
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ОСНОВНЫЕ ЗАКОНЫ ОПТИКИ -- ФОТОШАБЛОНЫ -- КООРДИНАТОГРАФЫ -- ФОТОПОВТОРИТЕЛИ -- ФОТОПОВТОРИТЕЛИ
Доп.точки доступа:
Федотов, Я. А. \ред.\
Поль, Г. \ред.\

Экземпляры всего: 2
аб.1 (2)
Свободны: аб.1 (2)

Find similar

6.
   533.9
   Ф50


    Физические основы лазерной и пучковой технологии [Текстььь] / ВИНИТИ АН СССР; гл. ред.: П. В. Нестеров, Б. Б. Кадомцев.
   Т. 3 : Физические основы лазерной микротехнологии / ред.: Н. И. Коротеев, В. Я. Панченко. - Москва : ВИНИТИ, 1989. - 164 с. : рис., табл. - (Итоги науки и техники). - ISSN 0235-229X. - 1.50 р.
ГРНТИ
УДК

Keywords:
интегральные схемы микроэлектроники -- фотолитография -- травление полимеров лазерным излучением -- осаждение металлов лазерным излучением -- лазерная литография -- лазеры -- дифракция света
Доп.точки доступа:
Нестеров, П. В. \гл. ред.\
Кадомцев, Б. Б. \гл. ред.\
Коротеев, Н. И. \ред.\
Панченко, В. Я. \ред.\
АН СССР. Всесоюзный институт научной и технической информации

Экземпляры всего: 3
аб.4 (2), аб.1 (1)
Свободны: аб.4 (2), аб.1 (1)

Find similar

7.
   621.385.1
   К 93


    Курносов, Анатолий Иванович.
    Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текстььь] : учебное пособие / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - 2-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высш. шк., 1979. - 367 с. : ил. - 1.20 р.
ГРНТИ
УДК

Keywords:
полупроводниковое производство -- электрохимическая обработка полупроводников -- фотолитография -- фотошаблоны -- ионная имплантация -- биполярные интегральные микросхемы
Доп.точки доступа:
Юдин, Владимир Васильевич

Экземпляры всего: 4
аб.4 (2), аб.1 (2)
Свободны: аб.4 (2), аб.1 (2)

Find similar

8.
   621.396.6
   Ф 76


    Фомин, Алексей Васильевич.
    Технология, надежность и автоматизация производства БГИС и микросборок [Текстььь] : учеб. пособие / А. В. Фомин, Ю. И. Боченков, В. А. Сорокопуд ; ред. А. В. Фомин. - Москва : Радио и связь, 1981. - 352 с. : ил. - 0.80 р.
ГРНТИ
УДК

Keywords:
ТЕХНОЛОГИЯ НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ МИКРОСХЕМ
Доп.точки доступа:
Боченков, Юрий Иванович
Сорокопуд, Виктор Андреевич
Фомин, Алексей Витальевич \ред.\

Экземпляры всего: 13
аб.4 (1), Рез.фонд (2), аб.3 (9), аб.1 (1)
Свободны: аб.4 (1), Рез.фонд (2), аб.3 (9), аб.1 (1)

Find similar

9.
   621.385-181
   И 73


   
    Интегральные схемы. Основы проектирования и технологии [Текстььь] = Integrated Circuit Engineering. Basic Technology / Г. Р. Мэдленд [и др.] ; ред., пер. с англ. К. И. Мартюшов. - Москва : Сов. радио, 1970. - 592 с. : ил. - 2.25 р.
ГРНТИ
УДК

Keywords:
ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН -- КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ -- ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- СБОРКА ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ -- ИСПЫТАНИЕ ГОТОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ -- ПРОЕКТИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ -- ЛОГИЧЕСКИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ЛИНЕЙНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ХАРАКТЕРИСТИКИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
Доп.точки доступа:
Мэдленд, Г. Р.
Дикен, Г. К.
Ричардсон, Р. Д.
Притчард, Р. Л.
Боуер, Ф. Г.
Крет, Д. Б.
Мартюшов, К. И. \ред., пер. с англ.\

Экземпляры всего: 6
аб.3 (1), аб.1 (5)
Свободны: аб.3 (1), аб.1 (5)

Find similar

10.
   621.385.1
   К 93


    Курносов, Анатолий Иванович.
    Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текстььь] : учебное пособие / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - 3-е изд., перераб. и доп. - Москва : Высш. шк., 1986. - 368 с. : ил. - 1.30 р.
ГРНТИ
УДК

Keywords:
ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- МЕТОД ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ -- МЕТОД ДИФФУЗИИ -- ЗАЩИТНЫЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- МЕТОД ТЕРМИЧЕСКОГО ИСПАРЕНИЯ -- МЕТОД ИОНОПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ -- РАДИАЦИОННАЯ ОБРАБОТКИ
Доп.точки доступа:
Юдин, Владимир Васильевич

Экземпляры всего: 4
аб.3 (2), аб.4 (1), аб.1 (1)
Свободны: аб.3 (2), аб.4 (1), аб.1 (1)

Find similar

 1-10    11-20   21-30   31-40   41-41 
 

Наш адрес: 61000, Харьков, ул. Кирпичева, 2
Научно-техническая библиотека НТУ "ХПИ"
Контактный телефон: (057) 707-63-07
E-mail: library@khpi.edu.ua