Методичні вказівки до виконання лабораторної роботи “Фотолітографія” [Електронний ресурс] : для студентів спец. 161 “Хімічні технології та інженерія” / НТУ “ХПІ” ; уклад.: С. А. Лещенко, С. Г. Дерібо. - Електрон. текст. дані. - Харків : [б. и.], 2023. - 43 с. - Б. ц.

Keywords:
ХІМІЧНІ ТЕХНОЛОГІЇ -- СУХІ ПЛІВКОВІ ФОТОРЕЗИСТИ -- ЕЛЕКТРОХІМІЧНЕ ТРАВЛЕННЯ -- СВІТЛОЧУТЛИВІСТЬ -- МІКРОЕЛЕКТРОНІКА
Есть полнотекстовые версии (для доступа требуется авторизация)

Доп.точки доступа:
Лещенко, Сергій Анатолійович (кандидат технічних наук) \уклад.\
Лещенко, Сергей Анатольевич (кандидат технических наук)
Дерібо, Світлана Германівна (кандидат технічних наук) \уклад.\
Дерибо, Светлана Германовна (кандидат технических наук)
Національний технічний університет “Харківський політехнічний інститут”