621.315
   Б 69


    Блинов, Игорь Григорьевич.
    Оборудование полупроводникового производства [Текстььь] : учеб. пособие / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - Москва : Машиностроение, 1986. - 264 с. : ил. - (Для вузов). - 1.00 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электронная промышленность--Оборудование--Учебники и пособия

   Полупроводниковые приборы-- Производство --Учебники и пособия


Keywords:
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ГАЗОВАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
Доп.точки доступа:
Кожитов, Лев Васильевич

Экземпляры всего: 3
аб.3 (1), аб.1 (2)
Свободны: аб.3 (1), аб.1 (2)