Б 69 Блинов, Игорь Григорьевич. Оборудование полупроводникового производства [Текстььь] : учеб. пособие / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - Москва : Машиностроение, 1986. - 264 с. : ил. - (Для вузов). - 1.00 р.
Рубрики: Электронная промышленность--Оборудование--Учебники и пособия Полупроводниковые приборы-- Производство --Учебники и пособия Keywords: ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ГАЗОВАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ Доп.точки доступа: Кожитов, Лев Васильевич Экземпляры всего: 3 аб.3 (1), аб.1 (2) Свободны: аб.3 (1), аб.1 (2) |