548.5
   С 79


    Степанов, А. Е.
    Математическое моделирование процессов выращивания кристаллических полупроводниковых материалов [Текстььь] / А. Е. Степанов, Л. Г. Кириллова ; отв. ред. Г. Е. Пухов ; ИПМЭ АН УССР. - Киев : Наук. думка, 1988. - 184 с. - ISBN 5-12-009333-7 : 2.20 р.
ГРНТИ
УДК

Keywords:
КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ -- ЧИСЛЕННЫЕ МЕТОДЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ -- РАСТВОРЫ-РАСПЛАВЫ -- ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ -- ВЫРАЩИВАНИЕ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ
Доп.точки доступа:
Кириллова, Л. Г.
Пухов, Г. Е. \отв. ред.\
АН УССР. Институт проблем моделирования в энергетике

Экземпляры всего: 3
0 (1), аб.1 (2)
Свободны: 0 (1), аб.1 (2)