621.91
   Р 34


   
    Модифікація нанорельєфу методом електронно-променевої мікрообробки [Текстььь] / В. С. Антонюк [и др.] // Резание и инструменты в технологических системах = Cutting & Tools in Technological Systems : междунар. науч.-техн. сб. / Харьковский политехнический ин-т, нац. техн. ун-т; отв. ред. А. И. Грабченко. - Харьков : НТУ “ХПИ”, 2018. - Вып. 88. - С. 11-17. - Бібліогр. в кінці ст.
УДК

Keywords:
ЛІТОГРАФІЯ -- ОПТИЧНІ МАТЕРІАЛИ -- КРОКОВІ ДВИГУНИ
Доп.точки доступа:
Грабченко, Анатолий Иванович (доктор технических наук ; 1935) \отв. ред.\
Антонюк, В. С.
Гайдаш, Р. П.
Білокінь, С. О.
Бондаренко, Ю. Ю.
Бондаренко, М. О.
Харьковский политехнический ин-т, нац. техн. ун-т

Экземпляры всего: 4
аб.1 (4)
Свободны: аб.1 (4)