Аннотация

Монография посвящена результатам электронно-микроскопических исследований структуры пленок и закономерностям ее формирования при дискретном осаждении на подложку пароплазменных потоков, сформированных импульсным лазерным распылением металлических и полупроводниковых мишеней. Также приведены результаты исследований структурных и фазовых превращений в пленках при отжиге и естественном старении.

Издание предназначено для студентов, аспирантов и преподавателей физико-технических и материаловедческих специальностей.