Механізми формування тонких плівок та покриттів, отриманих різними методами фізичного осадження

Shaginyan, L. R. The mechanisms of formation of thin films and coatings deposited by physical vapor deposition technology = Механізми формування тонких плівок та покриттів, отриманих різними методами фізичного осадження / L. R. Shaginyan. — Kyiv : Akademperiodyka, 2017. — 174 p. : fig.